一、射频溅射法研制SnO_2纳米薄膜（论文文献综述）
张弘光,曹达华,杨卫星,许志华,万鹏[1]（2021）在《超薄加热技术在家电领域中的应用》文中研究表明本文总结了近年来家电领域常见的加热技术如蚀刻电阻丝、厚膜、透明膜、碳纤维、石墨烯膜等的特点,以及在家用电器领域的应用现状及不足,重点阐述了对碳基柔性超薄加热技术的研究现状与未来潜在的发展方向,展望了超薄加热技术给生活小家电带来的技术突破与发展机遇。
李超[2]（2015）在《基于MOS的气敏材料的制备及特性研究》文中提出随着科学技术及工业化的快速发展，易燃易爆等有毒气体在得到广泛使用的同时，也带来了严重的大气污染，许多城市都出现雾霾天气，严重危害了人们的健康。人们对气体的检测显得格外重视，更是对传感器的性能有了更精确的要求。因此，本文主要对碳纳米管掺杂金属氧化物的复合材料的气敏特性进行了研究，以提高材料的气敏性能，这对治理当前的环境污染问题具有重要的参考价值。本文介绍了金属氧化物和碳纳米管的气敏原理，以ZnO为金属氧化物的代表，从制备工艺和掺杂两种方法研究对气敏特性的改善，并围绕CNT/MOS的气敏特性展开重点研究，探索了几种复合材料的气敏机理。主要研究内容如下：（1）研究了RF磁控溅射ZnO薄膜的制备参数和气敏性能。在不同的溅射参数下制备ZnO薄膜，通过对衬底温度、退火温度和氧氩比对薄膜的结晶质量、生长结构及电阻率的影响，得出了制备ZnO薄膜的优化参数。通过气敏性测试，可知该薄膜在225℃下对1.0%甲烷和乙醇有70%以上的响应，不仅适当降低了材料的工作温度，还提高了灵敏度。（2）研究了碳纳米管掺杂对ZnO气敏特性的影响。选用溶胶凝胶工艺制备ZnO粉末，并制成CNT/ZnO复合材料。实验发现，碳纳米管的加入降低了材料的电阻，而且掺入量为1%的碳纳米管，不仅将ZnO的工作温度由300℃降低到250℃，还将对100ppm乙醇的响应提高了近6倍，并体现了很好的选择性。（3）研究了碳纳米管掺杂WO3、SnO2的气敏特性。采用沉淀法制得WO3粉末并与碳纳米管合成了CNT/WO3复合材料。实验表明碳纳米管的掺杂降低了WO3的电阻，提高了灵敏度，并对氨气和二氧化氮具有较好的选择性。以氯化亚锡为原材料，利用溶胶凝胶工艺制备SnO2粉末并合成了CNT/SnO2复合材料。实验表明碳纳米管的掺杂改善了SnO2对H2S的灵敏度，并表现了良好的选择性。此外，合成的CNT/WO3/SnO2复合材料比CNT/SnO2、CNT/WO3、SnO2/WO3对NO2的灵敏度都高，且对1ppm NO2的响应达80%，明显改善了选择性，证明了多重掺杂是提升金属氧化物选择性的一种很好的方法。（4）探讨了CNT/ZnO、CNT/SnO2、CNT/WO3和CNT/WO3/SnO2几种复合材料的气敏机理。
黄福莉[3]（2013）在《纳米TiO2和SnO2/CdS薄膜的制备、表征及光电化学性能研究》文中提出Ti02和Sn02这两种纳米半导体光电材料,已经被广泛应用于光电化学太阳能电池、光电化学检测、光电器件、气敏器件等多个领域。本学位论文中,我们研究了纳米Ti02和SnO2/CdS薄膜的制备、表征及其光电化学性能与应用。主要包括：（1）采用气/液界面自组装法获得纳米Ti02薄层,并逐层转移至导电玻璃基底,得到平整、致密的多孔Ti02薄膜；以该组装薄膜作为光阳极,构建染料敏化太阳能电池（DSSC）、光电化学池以及光检测装置,研究了其光电性能,考察了捞膜层数对光电性能的影响,并与涂膜法制备的纳米TiO：薄膜进行了对比,给出了合理解释。（2）先在导电玻璃上热分解SnSO4得到SnO2薄膜,然后通过连续离子吸附反应（SILAR）法修饰上CdS纳米粒子,制备出SnO2/CdS薄膜,用扫描电镜（SEM）和X射线光电子能谱（XPS）表征了SnO2/CdS的形貌和组成；研究了其光电特性,考察了SnSO4的用量和SILAR次数对光电性能的影响,与单种SnO2薄膜的光电性能进行了对比,并给出了合理解释；将SnO2/CdS复合膜作为光阳极,构建光电化学Cu2+传感器,考察了传感器的测试条件、传感器的性能以及阳离子的干扰情形等,并成功应用于生活饮用水中的Cu2+的实际检测。（3）先在导电玻璃上电沉积得到氧化锡薄膜,再在空气气氛中热处理,然后采用SILAR法修饰CdS纳米粒子,制备出SnO2/CdS复合薄膜,用扫描电镜（SEM）和能量色散X射线光谱（EDX）表征了SnO2/CdS的形貌和组成；研究了其光电特性,考察了沉积电势、沉积时间和SILAR次数对光电性能的影响；就其光电化学性能和光伏效应等方面与单种SnO2薄膜的进行了对比和讨论。
王曼星[4]（2013）在《SnO2薄膜的制备与性能表征》文中研究说明随着能源的日渐短缺和全球环境的恶化等，我们必须寻找新的清洁可再生资源。太阳电池的研究和开发越来越受到人们的重视，寻找高的光电转换效率的材料是我们要解决的关键问题。光入射到太阳能电池表面时，有一部分光产生反射现象，影响其光电转换效率。现在在太阳能电池表面形成一层减反射膜是提高其光电转换效率的有效方法。SnO2薄膜材料是一种金属氧化物材料，它具有较宽的带隙、高透射率、低电阻、化学和热稳定性能好，所以选择用来作为太阳能电池的减反射膜材料。本文中薄膜制备方法是等离子体增强化学气相沉积（PECVD）（1）光伏发电技术的特点以及发展趋势，太阳能电池的工作原理及选择作为太阳能电池的材料应具备的某些特性。（2）SnO2薄膜的具体的特性、应用以及它作为太阳能电池减反射膜材料的优点及普遍采用的制备SnO2薄膜的方法。（3）薄膜的生长原理及其测试方法，以及PECVD法制备薄膜的过程和相关数据的采集等。（4）通过所得到的数据，从其晶体结构、表面形貌、光学特性和电学特性等方面进行了相关分析。
樊玉凤[5]（2012）在《溶胶凝胶法纳米复合薄膜气敏光学特性研究》文中研究指明纳米复合薄膜在光电技术、生物技术和能源技术等各个领域的应用前景都很广泛。目前，纳米金属复合薄膜的制备方法已经多种多样，其中，溶胶凝胶法是最普遍的制膜技术之一，它具有工艺简单、用料省、烧结温度低、纯度高且均匀度好等诸多优点。半导体型金属氧化物中具有代表性的是SnO2金属氧化物，其薄膜在气敏传感器、薄膜电阻、电热转换层、太阳能电池和透明电极等领域已经得到广泛应用。纯SnO2是一种广谱气敏材料，但是选择性、灵敏度和可靠性因素不是很理想，所以近些年来的研究偏向于寻找合适的金属元素进行掺杂，以改善薄膜的气敏光学特性。而TiO2因其光催化活性强、无毒和化学性质稳定等优点，经常被用作添加剂或者基材，应用广泛。基于该课题的前期研究成果（掺杂单一元素Cu、TiO2）和国内外研究现状，本课题选用SnO2金属氧化物做基体，混合掺杂金属元素CuTiO2和FeTiO2，采用溶胶凝胶法制备薄膜，并分别在乙醇和丙酮中发生气敏反应，用分光光度计测试其光反射谱，并分别在常温、加温和光照下研究其返回特性。实验结果表明，5%CuTiO2SnO2混合掺杂的丙酮气敏特性最好，灵敏度最高达到23.9%；其次是1%FeTiO2SnO2掺杂的乙醇气敏特性。对于返回特性，100℃加温3分钟和红外线光照10分钟后，测试光反射谱表明返回特性表现良好，能在较短时间和较宽波段内返回，常温不理想。可见气敏特性的好坏与掺杂元素、掺杂比例和气敏反应环境等因素有关。由于气敏光学检测具有许多优点：常温检测、精度高和选择性好等，今后可尝试将薄膜应用于气敏传感器，考察其实用价值。
阮伟亮[6]（2012）在《Zn-Al金属氧化物的制备和气敏性能研究》文中指出气体传感器可以准确高效地检测多种易燃、易爆、有毒、有害的气体。半导体金属氧化物传感器是气体传感器中的一类，在灵敏度、响应时间、结构设计方面上，有着很大的优势;在实际应用中，它有使用方便、体积小巧、成本低廉、易于普及诸多优点。虽然半导体金属氧化物气敏材料具有诸多优势，但是单一金属氧化物材料的选择性、稳定性仍受到一定限制，有局限性。所以对于半导体金属氧化物气敏材料的研究经历了一个从单一金属氧化物，到金属掺杂，再到复合金属氧化物的发展过程,其目的是为了提高该类材料的气敏性质，获得高灵敏度、高选择性、稳定性良好的材料。本论文主要论述了两种Zn-Al金属氧化物的制备、结构和形态以及气敏性能，分别为晶态ZnO-非晶态Al2O3和ZnO-Al2O3-FeO。论文主要包括两方面内容：一晶态ZnO-非晶态Al2O3的制备、结构和形态以及气敏性能晶态ZnO-非晶态Al2O3是以Zn-Al类水滑石为前驱体煅烧制得。晶态ZnO-非晶态Al2O3的结构和形态用热场发射扫描电子显微镜、能谱仪、X射线衍射仪、全自动比表面积及孔隙度分析仪和热重分析仪来表征。晶态ZnO-非晶态Al2O3在XRD图谱中，取2T=31.785℃、34.404℃、36.249℃三个衍射角处的平均微晶大小大约为15.68nm。晶态ZnO-非晶态Al2O3对某些有机气体展现出了良好的响应，比如乙醇和n-丁醇。在290℃的工作温度下，对于350ppm的乙醇和n-丁醇的传感器响应值分别是112.12和167.18。而且，由晶态ZnO-非晶态Al2O3制成的传感器元件对甲醇、异丙醇、丙酮和二甲苯展示出了良好的响应。对气敏性能和晶态ZnO-非晶态Al2O3的微观结构之间的关系也进行了研究。二ZnO-Al2O3-FeO的制备、结构和形态以及气敏性能ZnO-Al2O3-FeO是由Zn-Al类水滑石掺杂Fe盐制备得到的。ZnO-Al2O3-FeO的结构和形态用热场发射扫描电子显微镜、能谱仪、X射线衍射仪、全自动比表面积及孔隙度分析仪和热重分析仪来表征。ZnO-Al2O3-FeO在XRD图谱中，在d=7.711109垂直晶面下，2T=11.466℃，也就是θ=5.733℃处的平均微晶大小大约为28.31nm。ZnO-Al2O3-FeO对某些有机气体展现出了良好的响应，比如乙醇和n-丁醇。在290℃的工作温度下，对于200ppm的乙醇和133.33ppm的n-丁醇的传感器响应值分别是32.30和44.24。而且，由ZnO-Al2O3-FeO制成的传感器元件对甲醇、异丙醇、丙酮和二甲苯展示出了良好的响应。
王利霞[7]（2011）在《纳米材料在气敏传感器上的应用现状研究》文中研究表明气体传感器在各个领域中都得到了广泛的应用。理想的气敏传感器在性能上应该有如下的优点:灵敏度高,选择性好,功耗低、长期工作情况下稳定性好、成本低等。然而,实际的气敏传感器由于材料、制备工艺等各种因素的限制,往往不能很好的满足应用的需求。因此,人们一直都致力于改善其性能的研究。而纳米材料的独特表面特性为气体传感器的性能改善提供了良好的机遇。文中将重点对纳米材料和技术在气敏传感器上的应用现状进行详细地讨论。
徐加荣[8]（2010）在《氧化锡纳米晶及其掺铜薄膜的结构和光学性质研究》文中研究表明SnO2作为一种新型的n型直接宽禁带氧化物半导体功能材料,由于其特殊的物理与化学性能,在很多领域具有广阔的应用前景。本文以水热法制备的氧化锡纳米晶和溶胶-凝胶法制备的氧化锡及其铜掺杂纳米薄膜为研究对象,采用X射线衍射、高分率电镜、拉曼光谱、紫外-可见吸收光谱等手段,研究了其制备生长、结构特性以及光学特性。研究工作的主要成果如下：1.水热法制备的氧化锡纳米晶生长机制及光学性质在热处理过程中,晶粒生长存在两个阶段：500℃以下晶粒依靠吸收周围非晶成分长大,所需激活能只有7.3kJ/mol,晶粒生长速度缓慢,并且晶粒不存在晶格缺陷。随着热处理温度的提高,晶粒以相近纳米晶相互熔合的方式长大,晶粒生长所需激活能较大,达到19kJ/mol,晶粒生长速度迅速,生长时的不完全取向粘结形成了位错。不同粒径的氧化锡纳米颗粒的拉曼光谱显示A1g（633cm-1）随晶粒尺寸减小而向低波数移动和谱峰不对称展宽的现象,归因于声子限制效应,理论计算与实验数据吻合。样品紫外-可见吸收光谱的吸收边随粒径减小有明显的蓝移。这种蓝移归因于量子限制效应。在325nm波长的激光激发下,氧化锡纳米晶在可见光区520nm处发光,且随着颗粒的尺寸的减小,其发光强度增强,来源于表面缺陷。2.溶胶-凝胶法制备的氧化锡纳米薄膜及其铜掺杂薄膜薄膜样品的X射线衍射图谱和高分辨电镜表明,500℃热处理后的纳米薄膜已经结晶,薄膜厚度为90nm。铜的掺入并没有改变氧化锡的晶体结构,薄膜样品仍为金红石结构。利用紫外-可见光谱仪对薄膜的反射率进行测试,发现氧化锡及其掺铜薄膜对280nm的紫外光有很强的反射。在乙醇的气氛中,氧化锡及其掺铜纳米薄膜的反射率出现降低,气敏特性并不明显。研究了氧化锡及掺铜发光光谱,主发光峰在420nm左右,随着掺杂量的增加,其发光强度逐渐减小
邓健强[9]（2010）在《溶胶凝胶法二氧化锡薄膜气敏光学特性研究》文中进行了进一步梳理SnO2作为一种新型功能材料,被广泛用于半导体、太阳能电池、气敏传感器、液晶显示器、催化剂以及光学技术等领域。以SnO2为气敏材料制备的气体传感器,可用于工业、国防、民用、运输等领域检测易燃易爆还原性气体,市场需求庞大。纯净SnO2的气体灵敏度较低,在一定程度上影响了气体传感器的检测精度。很多研究已发现,掺杂贵金属或其他物质,可以抑制SnO2晶粒的长大,改善材料的半导体性能,提高其气体灵敏度。根据以往对磁控溅射法制作掺杂SnO2薄膜的研究,基于薄膜灵敏度不高和反应时间过长的问题,本文使用溶胶凝胶法制作铜掺杂SnO2薄膜和钛掺杂SnO2薄膜。本文的主要实验包括:1、对溶胶凝胶法制备掺杂SnO2薄膜的工艺进行了研究,通过实验对工艺条件进行摸索,如:掺杂元素、掺杂浓度、退火温度及退火时间等,制备不同的铜掺杂SnO2薄膜和钛掺杂SnO2薄膜。2、对掺杂SnO2薄膜进行XRD和厚度的测试。3、在常温下,研究不同掺杂SnO2薄膜对乙醇及其他气体的气敏光学特性,测试薄膜在气敏前后的反射率光谱。4、研究气敏薄膜在常温、加温和紫外光照射条件下的返回特性。本文实验结果表明使用溶胶凝胶法制作的掺杂SnO2薄膜在常温下有气敏性能,由于均匀度比磁控溅射法高,薄膜灵敏度得到明显提高并且对不同气体有选择性。钛元素具有光催化作用,钛掺杂SnO2薄膜气敏反应时间明显缩短,在常温下能部分返回。100℃加温和紫外光照射下掺杂SnO2薄膜都具有返回能力。可望通过制备其他掺杂SnO2薄膜,使得薄膜能在比较宽的波长范围有更高的灵敏度,达到在常温下通过光学检测方法对气体检测的目的,进一步开发新一代气体传感器。
郝龙[10]（2010）在《射频反应溅射法制备SnO2薄膜及其工艺研究》文中认为SnO2属于n型半导体材料,具有良好的附着性及化学稳定性,因此,可以沉积在玻璃、陶瓷、氧化物以及其它种类衬底材料上。SnO2熔点较高,透射性好,不易与空气中氧和水蒸气发生反应,具有较高的比容量和良好的循环性能。随着纳米技术的发展,利用SnO2透明导电薄膜制成的气敏传感器被广泛应用于检测各种有害气体、可燃气体、工业废气和环境污染气体。SnO2薄膜还用于薄膜电阻、电热转换薄膜、热反射镜、SIS结构异质结。目前研究较多的还有全固态薄膜锂离子电池阳极材料。另外也用于玻璃及玻璃器皿的表面保护层。本文利用国产OLED多功能多元镀膜系统,选用纯度为99.99%的锡靶材,在氩气与氧气比为4:1的混合气体、溅射压强为0.3Pa的气氛中,以200W的溅射功率,在240°C的玻璃基片上,采用射频反应溅射法制备SnO2纳米薄膜,获得了具有良好择优取向的SnO2纳米薄膜。对制备的薄膜在400°C温度下经60min退火处理,并利用D/max-rB型X射线衍射仪对退火前后薄膜进行了XRD分析,发现薄膜在退火前即为多晶的金红石结构,经过分析计算可以看出退火后晶粒有所长大。并用Nano ScopeⅢ型原子力显微镜分析了退火前后薄膜的表面形貌,发现退火后的薄膜质量明显提高,薄膜变的更加致密。用WGD-3型组合式多功能光栅光谱仪测得退火后薄膜的透光率为90%,而退火前薄膜透光率仅为80%左右。利用FEI Sirion扫描电子显微镜对薄膜进行了能谱分析,得出薄膜中O元素和Sn元素比例接近2:1。通过以上实验对薄膜做出分析,进而得出最佳溅射工艺。
二、射频溅射法研制SnO_2纳米薄膜（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、射频溅射法研制SnO_2纳米薄膜（论文提纲范文）
（1）超薄加热技术在家电领域中的应用（论文提纲范文）
| 1 引言 |
| 2 电热技术在家用电器上的应用 |
| 2.1 电热丝加热技术 |
| 2.2 稀土厚膜电热技术 |
| 2.3 透明电热膜加热技术 |
| 2.4 碳纤维电加热技术 |
| 2.5 碳纳米管和石墨烯电加热技术 |
| 3 结论与展望 |
| 4 致谢 |
（2）基于MOS的气敏材料的制备及特性研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题背景及意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.2.1 金属氧化物气敏材料的研究现状 |
| 1.2.2 碳纳米管气敏性的研究现状 |
| 1.3 本论文主要研究的内容 |
| 2 气敏材料的基本理论及制备方法 |
| 2.1 金属氧化物及其气敏机理 |
| 2.1.1 几种金属氧化物气敏材料 |
| 2.1.2 金属氧化物的气敏机理 |
| 2.2 碳纳米管及其气敏机理 |
| 2.2.1 碳纳米管的结构 |
| 2.2.2 碳纳米管的纯化 |
| 2.2.3 碳纳米管的气敏机理 |
| 2.3 气敏材料的制备方法 |
| 2.3.1 磁控溅射法 |
| 2.3.2 溶胶凝胶法 |
| 2.3.3 沉淀法 |
| 2.4 本章小结 |
| 3 ZnO 薄膜的 RF 制备及气敏性测试 |
| 3.1 ZnO 薄膜的 RF 制备 |
| 3.1.1 ZnO 薄膜的制备方法 |
| 3.1.2 ZnO 薄膜的测试设备 |
| 3.2 制备参数对 ZnO 薄膜特性的影响 |
| 3.2.1 沉积速率的测试 |
| 3.2.2 衬底温度的研究 |
| 3.2.3 退火温度的研究 |
| 3.2.4 氧氩比对电阻率的影响 |
| 3.3 ZnO 薄膜的气敏测试 |
| 3.3.1 灵敏度 |
| 3.3.2 响应-恢复特性 |
| 3.3.3 稳定性 |
| 3.4 本章小结 |
| 4 CNT/ZnO 复合材料的制备及气敏性研究 |
| 4.1 碳纳米管的酸化处理 |
| 4.2 CNT/ZnO 复合材料的气敏性研究 |
| 4.2.1 CNT/ZnO 的气敏机理分析 |
| 4.2.2 CNT/ZnO 复合材料的制备 |
| 4.2.3 结果与分析 |
| 4.3 本章小结 |
| 5 CNT 掺杂 WO_3、SnO_2复合材料的制备及气敏性研究 |
| 5.1 CNT/WO_3复合材料的制备及气敏性研究 |
| 5.1.1 CNT/WO_3的气敏机理分析 |
| 5.1.2 CNT/WO_3复合材料的制备 |
| 5.1.3 结果与分析 |
| 5.2 CNT/SnO_2复合材料的制备及气敏性研究 |
| 5.2.1 CNT/SnO_2复合材料的气敏机理分析 |
| 5.2.2 CNT/SnO_2复合材料的制备 |
| 5.2.3 结果与分析 |
| 5.3 CNT/WO_3/SnO_2复合材料的气敏性研究 |
| 5.3.1 CNT/WO_3/SnO_2复合材料的气敏机理分析 |
| 5.3.2 CNT/WO_3/SnO_2复合材料的制备 |
| 5.3.3 结果与分析 |
| 5.4 本章小结 |
| 6 总结 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 |
| 致谢 |
（3）纳米TiO2和SnO2/CdS薄膜的制备、表征及光电化学性能研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 TiO_2和SnO_2的基本特性 |
| 1.2.1 TiO_2的基本特性 |
| 1.2.2 SnO_2的基本特性 |
| 1.3 半导体的应用 |
| 1.3.1 染料敏化太阳能电池(以TiO_2为例) |
| 1.3.2 量子点敏化太阳能电池 |
| 1.3.3 光电化学传感器 |
| 1.3.4 光催化 |
| 1.3.5 气敏传感器 |
| 1.4 半导体材料的表征方法 |
| 1.4.1 电子显微镜 |
| 1.4.2 X-射线衍射 |
| 1.4.3 紫外-可见吸收光谱 |
| 1.4.4 X射线光电子能谱 |
| 1.5 本文的构思与主要工作 |
| 第二章 气/液界面自组装制备TiO_2纳米多孔薄膜应用于染料敏化太阳能电池 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 实验部分 |
| 2.2.1 试剂与溶液配置 |
| 2.2.2 TiO_2纳米粒子组装薄膜及染料敏化太阳能电池的制备 |
| 2.2.3 染料敏化太阳能电池的光电性能测定 |
| 2.2.4 光响应测试 |
| 2.2.5 光电化学性能测试 |
| 2.2.6 表征方法 |
| 2.3 结果与讨论 |
| 2.3.1 两种不同方法制备的TiO_2薄膜构成的染料敏化太阳能电池的性能比较 |
| 2.3.2 组装法与涂膜法构建的电池性能差异的主要原因分析 |
| 2.4 小结 |
| 第三章 热解和SILAR法制备SnO2/CdS复合膜及应用于Cu~(2+)的光电化学检测 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 实验部分 |
| 3.2.1 试剂和溶液的配置 |
| 3.2.2 SnO_2/CdS复合薄膜的制备与光电化学检测Cu~(2+) |
| 3.2.3 SnO_2、SnO_2/CdS复合薄膜电极的表征 |
| 3.3 结果与讨论 |
| 3.3.1 形貌、结构和成分 |
| 3.3.2 SnO_2电极和SnO_2CdS电极的光电化学 |
| 3.3.3 光电化学检测Cu~(2+) |
| 3.4 小结 |
| 第四章 电化学和SILAR法制备SnO_2/CdS复合膜及其光电性能的研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 实验部分 |
| 4.2.1 试剂和溶液的配置 |
| 4.2.2 SnO_2/CdS复合薄膜的制备 |
| 4.2.3 SnO_2/CdS复合薄膜的光电化学性能测试 |
| 4.2.4 SnO_2、SnO_2/CdS复合薄膜电极的表征 |
| 4.3 结果与讨论 |
| 4.3.1 形貌、结构和成分 |
| 4.3.2 电沉积行为 |
| 4.3.3 光电化学性能 |
| 4.4 小结 |
| 结语 |
| 参考文献 |
| 攻读学位期间发表的文章 |
| 致谢 |
（4）SnO2薄膜的制备与性能表征（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 光伏发电技术及其特点 |
| 1.2 减反射膜的光学设计 |
| 1.3 太阳能电池的发展趋势 |
| 1.4 SnO_2的晶体结构和特性 |
| 1.5 SnO_2薄膜的应用和制备方法 |
| 1.6 本文研究的内容和意义 |
| 2 薄膜生长原理以及测试方法 |
| 2.1 薄膜生长原理和薄膜动力学分析 |
| 2.2 薄膜的测试方法 |
| 2.3 本章小结 |
| 3 PECVD 法制备 SnO_2薄膜的实验 |
| 3.1 实验原料的选取 |
| 3.2 基片的清洗与预处理 |
| 3.3 PECVD 制备 SnO_2薄膜实验过程 |
| 3.4 本章小结 |
| 4 SnO_2薄膜的性能表征与分析 |
| 4.1 SnO_2薄膜的晶体结构 |
| 4.2 SnO_2薄膜形貌的测试 |
| 4.3 SnO_2薄膜化学成分分析 |
| 4.4 SnO_2薄膜的可见光透过率测试 |
| 4.5 SnO_2薄膜电性能测试 |
| 4.6 本章小结 |
| 5 实验参数对薄膜性能的影响 |
| 5.1 衬底预处理对材料薄膜生长的影响 |
| 5.2 晶体结构的影响 |
| 5.3 晶体形貌的影响 |
| 5.4 物理性能的影响 |
| 5.5 光学性能的影响 |
| 5.6 电学性能的影响 |
| 5.7 本章小结 |
| 6 全文总结 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
（5）溶胶凝胶法纳米复合薄膜气敏光学特性研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 引言 |
| 1.1 课题的研究背景 |
| 1.2 纳米复合薄膜的研究现状 |
| 1.3 本文的主要研究内容 |
| 第二章 SnO_2薄膜的气敏机理和掺杂理论 |
| 2.1 SnO_2的特性和表面效应 |
| 2.1.1 SnO_2的特性 |
| 2.1.2 SnO_2的表面效应 |
| 2.2 N 型半导体 SnO_2的电学气敏机理 |
| 2.3 纳米 TiO_2复合粒子在光催化中的应用 |
| 2.4 添加剂的作用机理 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 纳米复合薄膜的制备方法 |
| 3.1 溶胶凝胶法 |
| 3.2 磁控溅射法 |
| 3.3 其他制备方法 |
| 3.3.1 化学气相沉积法 |
| 3.3.2 真空蒸发沉积 |
| 3.3.3 液相外延技术 |
| 3.3.4 电沉积法 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 纳米复合薄膜的制备 |
| 4.1 实验所用仪器 |
| 4.2 纳米复合薄膜的制备过程 |
| 4.2.1 实验试剂 |
| 4.2.2 溶胶凝胶体系的配制 |
| 4.2.3 玻璃基片清洗 |
| 4.2.4 甩膜和热处理 |
| 4.3 本章小结 |
| 第五章 纳米复合薄膜的气敏光学特性测试 |
| 5.1 分光光度计 |
| 5.2 测试方法 |
| 5.3 乙醇气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.3.1 单一掺杂 Cu_SnO_2薄膜气敏光学特性测试 |
| 5.3.2 单一掺杂 TiO_2_SnO_2薄膜气敏光学特性测试 |
| 5.3.3 混合掺杂 Cu_TiO_2_SnO_2薄膜气敏光学特性测试 |
| 5.3.4 混合掺杂 Fe_TiO_2_SnO_2薄膜气敏光学特性测试 |
| 5.3.5 各片掺杂 SnO_2薄膜气敏光学特性测试结果对比分析 |
| 5.4 丙酮气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.4.1 单一掺杂 TiO_2_SnO_2薄膜气敏光学特性测试 |
| 5.4.2 混合掺杂 Cu_TiO_2_SnO_2薄膜气敏光学特性测试 |
| 5.4.3 混合掺杂 Fe_TiO_2_SnO_2薄膜气敏光学特性测试 |
| 5.4.4 各片掺杂 SnO_2薄膜气敏光学特性测试结果对比分析 |
| 5.5 本章小结 |
| 第六章 纳米复合薄膜的返回特性研究 |
| 6.1 常温下膜片的返回特性研究 |
| 6.1.1 Cu_TiO_2_SnO_2气敏薄膜在常温下的返回特性研究 |
| 6.1.2 Fe_TiO_2_SnO_2气敏薄膜在常温下的返回特性研究 |
| 6.2 加温下膜片的返回特性研究 |
| 6.2.1 Cu_TiO_2_SnO_2气敏薄膜在加温下的返回特性研究 |
| 6.2.2 Fe_TiO_2_SnO_2气敏薄膜在加温下的返回特性研究 |
| 6.3 光照后膜片的返回特性研究 |
| 6.3.1 Cu_TiO_2_SnO_2气敏薄膜光照后的返回特性研究 |
| 6.3.2 Fe_TiO_2_SnO_2气敏薄膜光照后的返回特性研究 |
| 6.4 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 |
| 致谢 |
| 附件 |
（6）Zn-Al金属氧化物的制备和气敏性能研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 前言 |
| 1.1 概述 |
| 1.2 金属氧化物气敏材料的国内外发展动态 |
| 1.2.1 单一金属氧化物 |
| 1.2.2 金属掺杂 |
| 1.2.3 复合金属氧化物 |
| 1.3 半导体金属氧化物的气敏机理 |
| 1.3.1 吸、脱附模型 |
| 1.3.2 催化(接触)燃烧模型 |
| 1.3.3 固体电解质气敏模型 |
| 1.3.4 气固分配平衡模型 |
| 1.4 研究课题的选取 |
| 第二章 样品的制备及测试 |
| 2.1 样品的制备 |
| 2.1.1 主要试剂及仪器 |
| 2.1.2 共沉淀法制备样品 |
| 2.1.3 主要产物 |
| 2.2 气敏元件测试 |
| 2.2.1 气敏元件的制备及测试 |
| 2.2.2 气敏元件性能参数 |
| 2.3 测试与表征 |
| 第三章 晶态 ZnO-非晶态 Al_2O_3的制备和气敏性能 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 结构与形态 |
| 3.3 气敏性能 |
| 3.4 小结 |
| 第四章 ZnO-Al_2O_3-FeO 的制备和气敏性能 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 结构与性能 |
| 4.3 气敏性能 |
| 4.4 小结 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 附录 |
（7）纳米材料在气敏传感器上的应用现状研究（论文提纲范文）
| 0 引言 |
| 1 纳米材料在气敏传感器上的应用现状 |
| 1.1 应用原理 |
| 1.2 应用现状 |
| 3 对纳米材料在气敏元件上的应用前景的展望 |
（8）氧化锡纳米晶及其掺铜薄膜的结构和光学性质研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 前言 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 纳米科学技术概况 |
| 1.2.1 纳米材料的定义 |
| 1.2.2 纳米材料的分类 |
| 1.3 纳米材料的性质 |
| 1.3.1 纳米材料的基本性质 |
| 1.3.2 纳米材料的特殊性质 |
| 1.4 纳米材料的应用 |
| 1.4.1 陶瓷领域中应用 |
| 1.4.2 微电子领域中应用 |
| 1.4.3 催化领域中应用 |
| 1.4.4 光学领域中应用 |
| 1.4.5 医药生物领域中应用 |
| 1.5 纳米材料的制备 |
| 1.5.1 纳米颗粒的制备方法 |
| 1.5.2 纳米线的制备方法 |
| 1.5.3 纳米薄膜的制备方法 |
| 1.6 纳米材料的表征技术 |
| 1.7 纳米氧化锡研究进展 |
| 1.7.1 氧化锡的基本性质 |
| 1.7.2 氧化锡的应用 |
| 1.7.3 氧化锡的发展前景 |
| 1.8 本论文研究的内容和意义 |
| 参考文献 |
| 第二章 SnO_2纳米晶的结构和光学性质 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 样品的制备和实验 |
| 2.2.1 主要试剂与仪器 |
| 2.2.2 样品的制备 |
| 2.3 结果与分析 |
| 2.3.1 SnO_2样品的结构形貌分析 |
| 2.3.2 SnO_2样品的拉曼光谱与声子限制效应 |
| 2.3.3 SnO_2样品的紫外-可见吸收与量子限域效应 |
| 2.3.4 SnO_2样品的光致发光 |
| 2.4 本章小结 |
| 参考文献 |
| 第三章 SnO_2及其掺Cu薄膜的制备与性质研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 SnO_2及其铜掺杂薄膜的制备 |
| 3.2.1 前期溶液制备与基片处理 |
| 3.2.2 溶胶-凝胶制备薄膜的流程 |
| 3.3 薄膜样品的分析 |
| 3.3.1 样品的结构表征 |
| 3.3.2 样品的发光光谱 |
| 3.3.3 样品的紫外-可见反射光谱 |
| 3.4 本章小结 |
| 参考文献 |
| 第四章 结语与展望 |
| 4.1 结语 |
| 4.2 后期工作展望 |
| 致谢 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 |
（9）溶胶凝胶法二氧化锡薄膜气敏光学特性研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 引言 |
| 1.1 气敏传感器研究的发展 |
| 1.2 SnO_2气敏薄膜研究现状 |
| 1.3 本文的主要研究内容 |
| 第二章 SnO_2薄膜的气敏机理 |
| 2.1 SnO_2的结构与性能 |
| 2.2 SnO_2薄膜的电学气敏机理 |
| 2.2.1 SnO_2中的缺陷 |
| 2.2.2 导电机理的理论模型 |
| 2.3 SnO_2薄膜的光学气敏机理 |
| 2.3.1 薄膜对光的吸收机理 |
| 2.3.2 光反射率的变化机制 |
| 2.4 掺杂理论 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 SnO_2薄膜的制备方法 |
| 3.1 溶胶凝胶法 |
| 3.2 化学气相沉积法 |
| 3.3 分子束外延法 |
| 3.4 脉冲激光沉积法 |
| 3.5 溅射法 |
| 3.6 电浮镀膜法 |
| 3.7 热喷涂法 |
| 3.8 电沉积法 |
| 3.9 本章小结 |
| 第四章 SnO_2气敏薄膜的制备及物理性质测试 |
| 4.1 溶胶凝胶体系的选用 |
| 4.2 实验仪器 |
| 4.3 薄膜制备过程 |
| 4.3.1 主要试剂 |
| 4.3.2 锡溶胶的配制 |
| 4.3.3 玻璃基片清洗 |
| 4.3.4 镀膜和热处理 |
| 4.4 薄膜XRD测试 |
| 4.4.1 不同掺杂元素的SnO_2薄膜XRD测试 |
| 4.4.2 不同掺杂浓度的SnO_2薄膜XRD测试 |
| 4.4.3 不同退火工艺的SnO_2薄膜XRD测试 |
| 4.5 SnO_2薄膜厚度的测定 |
| 4.6 本章小结 |
| 第五章 SnO_2薄膜的气敏光学特性测试 |
| 5.1 分光光度计原理 |
| 5.2 测试方法 |
| 5.3 乙醇气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.3.1 铜掺杂SnO_2薄膜在乙醇气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.3.2 钛掺杂SnO_2薄膜在乙醇气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.4 丙酮气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.4.1 铜掺杂SnO_2薄膜在丙酮气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.4.2 钛掺杂SnO_2薄膜在丙酮气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.5 甲烷气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.5.1 铜掺杂SnO_2薄膜在甲烷气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.5.2 钛掺杂SnO_2薄膜在甲烷气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.6 甲醛气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.6.1 铜掺杂SnO_2薄膜在甲醛气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.6.2 钛掺杂SnO_2薄膜在甲醛气氛下的气敏光学特性测试 |
| 5.7 本章小结 |
| 第六章 SnO_2薄膜的返回特性研究 |
| 6.1 常温下的返回特性研究 |
| 6.2 加温下的返回特性研究 |
| 6.2.1 铜掺杂SnO_2薄膜在加温下的返回特性研究 |
| 6.2.2 钛掺杂SnO_2薄膜在加温下的返回特性研究 |
| 6.3 紫外光照射下的返回特性研究 |
| 6.3.1 铜掺杂SnO_2薄膜在紫外光照射下的返回特性研究 |
| 6.3.2 钛掺杂SnO_2薄膜在紫外光照射下的返回特性研究 |
| 6.4 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
（10）射频反应溅射法制备SnO2薄膜及其工艺研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题背景和意义 |
| 1.1.1 SnO_2 薄膜在气敏器件上的应用 |
| 1.1.2 SnO_2 薄膜在电子领域的应用 |
| 1.1.3 SnO_2 薄膜在玻璃工业上的应用 |
| 1.2 国内外SnO_2 薄膜研究状况 |
| 1.3 课题研究的主要内容 |
| 第2章 SnO_2薄膜的理论基础及制备方法 |
| 2.1 SnO_2 透明导电薄膜结构和性能 |
| 2.1.1 SnO_2 透明导电薄膜的结构 |
| 2.1.2 SnO_2 透明导电薄膜的光电特性 |
| 2.1.3 SnO_2 透明导电薄膜的气敏特性 |
| 2.1.4 SnO_2 透明导电薄膜的湿敏特性 |
| 2.2 SnO_2 薄膜的制备方法 |
| 2.2.1 溶胶-凝胶法 |
| 2.2.2 喷涂热解法 |
| 2.2.3 化学气相沉积法 |
| 2.2.4 物理气相沉积法 |
| 2.3 本章小结 |
| 第3章 射频反应溅射法制备SnO_2薄膜 |
| 3.1 射频反应溅射技术及其特点 |
| 3.1.1 溅射机理 |
| 3.1.2 射频反应溅射技术的特点 |
| 3.2 磁控镀膜装置及溅射系统 |
| 3.3 射频反应溅射镀膜工艺操作流程 |
| 3.4 溅射工艺对薄膜质量的影响 |
| 3.4.1 溅射总压强对薄膜质量的影响 |
| 3.4.2 氧分压对SnO_2 薄膜质量的影响 |
| 3.4.3 溅射靶电压对薄膜质量的影响 |
| 3.4.4 靶与基板之间距离对SnO_2 薄膜的影响 |
| 3.4.5 退火温度对SnO_2 薄膜的影响 |
| 3.5 本章小结 |
| 第4章 SnO_2薄膜的测试及实验结果分析 |
| 4.1 SnO_2 薄膜的测试 |
| 4.1.1 SnO_2 薄膜的结构和表面形貌分析 |
| 4.1.2 SnO_2 薄膜光电性能的测定 |
| 4.1.3 SnO_2 薄膜成分的测定 |
| 4.2 SnO_2 薄膜测试结果和分析 |
| 4.2.1 退火处理对表面形貌影响 |
| 4.2.2 退火处理对薄膜结晶程度的影响 |
| 4.2.3 退火处理对SnO_2 薄膜可见光透射率的影响 |
| 4.2.4 氧分压对薄膜导电性能的影响 |
| 4.2.5 SnO_2 薄膜能谱分析 |
| 4.3 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 |
| 致谢 |
四、射频溅射法研制SnO_2纳米薄膜（论文参考文献）
- [1]超薄加热技术在家电领域中的应用[A]. 张弘光,曹达华,杨卫星,许志华,万鹏. 2021年中国家用电器技术大会论文集, 2021
- [2]基于MOS的气敏材料的制备及特性研究[D]. 李超. 中北大学, 2015(07)
- [3]纳米TiO2和SnO2/CdS薄膜的制备、表征及光电化学性能研究[D]. 黄福莉. 湖南师范大学, 2013(S1)
- [4]SnO2薄膜的制备与性能表征[D]. 王曼星. 华中科技大学, 2013(06)
- [5]溶胶凝胶法纳米复合薄膜气敏光学特性研究[D]. 樊玉凤. 华南理工大学, 2012(12)
- [6]Zn-Al金属氧化物的制备和气敏性能研究[D]. 阮伟亮. 济南大学, 2012(04)
- [7]纳米材料在气敏传感器上的应用现状研究[J]. 王利霞. 科技信息, 2011(35)
- [8]氧化锡纳米晶及其掺铜薄膜的结构和光学性质研究[D]. 徐加荣. 安徽大学, 2010(11)
- [9]溶胶凝胶法二氧化锡薄膜气敏光学特性研究[D]. 邓健强. 华南理工大学, 2010(03)
- [10]射频反应溅射法制备SnO2薄膜及其工艺研究[D]. 郝龙. 哈尔滨理工大学, 2010(06)